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更新時間：2024-03-15 
瀏覽次數(shù)：614由不銹鋼或塑料（例如：PVDF或PFA）制成的封裝換能器，安裝在現(xiàn)有水槽的底部或側壁。除了4英寸、6英寸和8英寸基板的標準系統(tǒng)外，還提供定制的解決方案。
這一靈活的配置允許一個方便的改裝與兆聲系統(tǒng)在現(xiàn)有水槽。
在世界各地，SONOSYS®代表的未來安方案。這尤其適用于頻率為400 kHz/600 kHz/1 MHz和2 MHz的Megasonic系統(tǒng)。
極為均勻的能量傳輸確保了迄今為止未達到的清潔性能，同時為微結構提供了保護。世界上的：我們的換能器系統(tǒng)，擁有正在申請的壓電陶瓷，可以實現(xiàn)40%以上的聲壓或高達30%的效率。
應用：
基板、半導體晶圓、微零件和微系統(tǒng)（MEMS）的清潔，最大可達200毫米，光致抗蝕劑在LIGA內的去除技術，以及蝕刻工藝。
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