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日本Tekhne露點儀:半導體超純氣體濕度監(jiān)測專家

更新時間:2025-08-15      瀏覽次數(shù):30
日本Tekhne公司生產(chǎn)的露點儀是專門用于半導體超純氣體濕度監(jiān)測的高精度儀器。在半導體制造過程中,氣體的純度和濕度控制至關重要,因為微小的濕度變化可能會對半導體器件的性能和質量產(chǎn)生嚴重影響。以下是關于日本Tekhne露點儀的詳細介紹:

一、產(chǎn)品概述

  • 品牌:日本Tekhne
  • 用途:用于監(jiān)測半導體制造過程中超純氣體的濕度,確保氣體的純度和干燥度。
  • 目標客戶:半導體制造企業(yè)、電子材料供應商、科研機構等。

二、主要特點

  1. 高精度測量
    • 測量范圍:能夠測量極低的露點溫度,通常在-100°C至0°C之間,適用于超純氣體的濕度監(jiān)測。
    • 測量精度:露點溫度測量精度可達±0.1°C,確保測量結果的高可靠性。
    • 重復性:測量結果具有高重復性,確保長期穩(wěn)定的監(jiān)測效果。
  2. 快速響應
    • 快速測量:能夠在短時間內完成露點溫度的測量,快速響應濕度變化。
    • 實時監(jiān)測:支持實時數(shù)據(jù)輸出,便于用戶及時調整氣體干燥系統(tǒng)。
  3. 高穩(wěn)定性
    • 傳感器技術:采用先進的傳感器技術,確保在惡劣環(huán)境下的穩(wěn)定性和可靠性。
    • 溫度補償:內置溫度補償功能,確保在不同環(huán)境溫度下的測量精度。
  4. 數(shù)據(jù)管理
    • 數(shù)據(jù)記錄:設備內置數(shù)據(jù)記錄功能,可存儲大量的測量數(shù)據(jù)。
    • 數(shù)據(jù)輸出:支持USB、LAN等多種數(shù)據(jù)輸出方式,方便用戶將數(shù)據(jù)導入計算機進行分析。
    • 數(shù)據(jù)分析:配備專業(yè)的數(shù)據(jù)分析軟件,可對測量數(shù)據(jù)進行統(tǒng)計分析,生成報表。
  5. 用戶友好
    • 操作簡便:配備直觀的用戶界面,操作簡便,無需復雜培訓。
    • 校準功能:設備內置校準功能,用戶可以定期進行校準,確保測量精度。

三、技術參數(shù)

  • 測量范圍
    • 露點溫度:-100°C至0°C
    • 濕度范圍:1 ppmv(百萬分之一體積比)至100% RH(相對濕度)
  • 測量精度
    • 露點溫度精度:±0.1°C
    • 濕度精度:±1% RH
  • 響應時間:小于1分鐘
  • 傳感器類型:高精度露點傳感器
  • 數(shù)據(jù)存儲:內置大容量存儲器,可存儲數(shù)月的數(shù)據(jù)
  • 數(shù)據(jù)輸出:USB、LAN、RS-232C等多種接口
  • 環(huán)境要求
    • 溫度:-10°C至50°C
    • 濕度:0%至95% RH(無凝結)
  • 電源要求:AC 100V-240V,50/60Hz,功率約100W
  • 尺寸與重量
    • 尺寸:約400mm(寬)×300mm(深)×200mm(高)
    • 重量:約10公斤

四、應用領域

  1. 半導體制造
    • 晶圓制造:在晶圓制造過程中,監(jiān)測超純氣體(如氮氣、氬氣、氦氣等)的濕度,確保氣體的純度和干燥度。
    • 光刻工藝:在光刻過程中,監(jiān)測光刻氣體的濕度,確保光刻工藝的精度。
  2. 電子制造
    • 電子元件制造:監(jiān)測電子元件制造過程中使用的超純氣體的濕度,確保元件的性能和可靠性。
    • PCB制造:監(jiān)測PCB制造過程中使用的氣體的濕度,確保焊接質量和可靠性。
  3. 科研機構
    • 材料研究:在材料研究中,監(jiān)測實驗氣體的濕度,確保實驗結果的準確性。
    • 工藝開發(fā):在新工藝開發(fā)過程中,監(jiān)測氣體的濕度,優(yōu)化工藝參數(shù)。

五、操作流程

  1. 開機準備
    • 打開設備電源,進行開機自檢。
    • 確保設備處于清潔狀態(tài),檢查傳感器和測量裝置是否正常。
  2. 氣體連接
    • 將待監(jiān)測的超純氣體管道連接到露點儀的進氣口。
    • 確保氣體流量穩(wěn)定,符合設備要求。
  3. 自動測量
    • 設備自動開始測量氣體的露點溫度和濕度,測量結果實時顯示在屏幕上。
    • 測量數(shù)據(jù)自動記錄并存儲。
  4. 數(shù)據(jù)輸出
    • 檢測完成后,用戶可以通過USB接口或網(wǎng)絡接口將數(shù)據(jù)導出到計算機。
    • 使用數(shù)據(jù)分析軟件對數(shù)據(jù)進行統(tǒng)計分析,生成檢測報告。
  5. 設備維護
    • 定期對設備進行清潔和校準,確保設備的長期穩(wěn)定運行。

六、優(yōu)勢與價值

  1. 高精度:能夠測量極低的露點溫度,確保超純氣體的濕度控制。
  2. 快速響應:快速測量和實時監(jiān)測,便于及時調整氣體干燥系統(tǒng)。
  3. 高穩(wěn)定性:先進的傳感器技術和溫度補償功能,確保設備在惡劣環(huán)境下的穩(wěn)定性和可靠性。
  4. 數(shù)據(jù)管理:支持數(shù)據(jù)記錄、存儲和輸出,方便用戶進行數(shù)據(jù)分析和質量控制。
  5. 用戶友好:操作簡便,內置校準功能,確保測量精度。

七、售后服務

  • 技術支持:提供專業(yè)的技術支持,包括設備安裝、調試、培訓和維護。
  • 保修服務:設備提供一年有限保修服務,保修期內免費維修和更換零部件。
  • 備件供應:提供充足的備件供應,確保設備的長期穩(wěn)定運行。


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