日本Tekhne公司生產(chǎn)的露點儀是專門用于半導體超純氣體濕度監(jiān)測的高精度儀器。在半導體制造過程中,氣體的純度和濕度控制至關重要,因為微小的濕度變化可能會對半導體器件的性能和質量產(chǎn)生嚴重影響。以下是關于日本Tekhne露點儀的詳細介紹:
一、產(chǎn)品概述
二、主要特點
高精度測量
測量范圍:能夠測量極低的露點溫度,通常在-100°C至0°C之間,適用于超純氣體的濕度監(jiān)測。
測量精度:露點溫度測量精度可達±0.1°C,確保測量結果的高可靠性。
重復性:測量結果具有高重復性,確保長期穩(wěn)定的監(jiān)測效果。
快速響應
高穩(wěn)定性
數(shù)據(jù)管理
數(shù)據(jù)記錄:設備內置數(shù)據(jù)記錄功能,可存儲大量的測量數(shù)據(jù)。
數(shù)據(jù)輸出:支持USB、LAN等多種數(shù)據(jù)輸出方式,方便用戶將數(shù)據(jù)導入計算機進行分析。
數(shù)據(jù)分析:配備專業(yè)的數(shù)據(jù)分析軟件,可對測量數(shù)據(jù)進行統(tǒng)計分析,生成報表。
用戶友好
三、技術參數(shù)
測量范圍:
測量精度:
響應時間:小于1分鐘
傳感器類型:高精度露點傳感器
數(shù)據(jù)存儲:內置大容量存儲器,可存儲數(shù)月的數(shù)據(jù)
數(shù)據(jù)輸出:USB、LAN、RS-232C等多種接口
環(huán)境要求:
溫度:-10°C至50°C
濕度:0%至95% RH(無凝結)
電源要求:AC 100V-240V,50/60Hz,功率約100W
尺寸與重量:
四、應用領域
半導體制造
電子制造
科研機構
五、操作流程
開機準備
氣體連接
自動測量
數(shù)據(jù)輸出
設備維護
六、優(yōu)勢與價值
高精度:能夠測量極低的露點溫度,確保超純氣體的濕度控制。
快速響應:快速測量和實時監(jiān)測,便于及時調整氣體干燥系統(tǒng)。
高穩(wěn)定性:先進的傳感器技術和溫度補償功能,確保設備在惡劣環(huán)境下的穩(wěn)定性和可靠性。
數(shù)據(jù)管理:支持數(shù)據(jù)記錄、存儲和輸出,方便用戶進行數(shù)據(jù)分析和質量控制。
用戶友好:操作簡便,內置校準功能,確保測量精度。
七、售后服務
技術支持:提供專業(yè)的技術支持,包括設備安裝、調試、培訓和維護。
保修服務:設備提供一年有限保修服務,保修期內免費維修和更換零部件。
備件供應:提供充足的備件供應,確保設備的長期穩(wěn)定運行。