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日本TLV檢漏儀：半導(dǎo)體真空腔體的“安全衛(wèi)士”

更新時(shí)間：2025-08-15

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日本TLV公司生產(chǎn)的檢漏儀是專(zhuān)門(mén)用于半導(dǎo)體真空腔體檢測(cè)的高精度設(shè)備。在半導(dǎo)體制造過(guò)程中，真空腔體的密封性至關(guān)重要，因?yàn)槿魏挝⑿〉男孤┒伎赡軐?dǎo)致工藝失敗、設(shè)備損壞甚至安全事故。TLV檢漏儀以其高靈敏度、高精度和可靠性，被譽(yù)為半導(dǎo)體真空腔體的“安全衛(wèi)士"。以下是關(guān)于日本TLV檢漏儀的詳細(xì)介紹：

一、產(chǎn)品概述

品牌：日本TLV（Tokyo Vacuum）
用途：用于檢測(cè)半導(dǎo)體真空腔體的泄漏，確保真空系統(tǒng)的密封性和安全性。
目標(biāo)客戶(hù)：半導(dǎo)體制造企業(yè)、真空設(shè)備制造商、科研機(jī)構(gòu)等。

二、主要特點(diǎn)

高靈敏度

微小泄漏檢測(cè)：能夠檢測(cè)到極小的泄漏，靈敏度可達(dá)10^-10 Pa·m3/s（帕·立方米/秒）級(jí)別，確保真空腔體的密封性。
多種檢測(cè)模式：支持多種檢測(cè)模式，包括氦氣檢漏、真空檢漏和壓力檢漏，適應(yīng)不同的檢測(cè)需求。

高精度

精確測(cè)量：采用先進(jìn)的傳感器技術(shù)和信號(hào)處理算法，確保測(cè)量結(jié)果的高精度和高重復(fù)性。
溫度補(bǔ)償：內(nèi)置溫度補(bǔ)償功能，確保在不同環(huán)境溫度下的測(cè)量精度。

快速響應(yīng)

快速檢測(cè)：能夠在短時(shí)間內(nèi)完成泄漏檢測(cè)，快速響應(yīng)泄漏情況。
實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)：支持實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)輸出，便于用戶(hù)及時(shí)發(fā)現(xiàn)泄漏并采取措施。

用戶(hù)友好

直觀界面：配備直觀的用戶(hù)界面，操作簡(jiǎn)便，無(wú)需復(fù)雜培訓(xùn)。
自動(dòng)校準(zhǔn)：設(shè)備內(nèi)置自動(dòng)校準(zhǔn)功能，用戶(hù)可以定期進(jìn)行校準(zhǔn)，確保測(cè)量精度。

數(shù)據(jù)管理

數(shù)據(jù)記錄：設(shè)備內(nèi)置數(shù)據(jù)記錄功能，可存儲(chǔ)大量的檢測(cè)數(shù)據(jù)。
數(shù)據(jù)輸出：支持USB、LAN等多種數(shù)據(jù)輸出方式，方便用戶(hù)將數(shù)據(jù)導(dǎo)入計(jì)算機(jī)進(jìn)行分析。
數(shù)據(jù)分析：配備專(zhuān)業(yè)的數(shù)據(jù)分析軟件，可對(duì)檢測(cè)數(shù)據(jù)進(jìn)行統(tǒng)計(jì)分析，生成報(bào)表。

三、技術(shù)參數(shù)

檢測(cè)范圍：

泄漏率：10^-10 Pa·m3/s至10^-3 Pa·m3/s
壓力范圍：10^-6 Pa至大氣壓

檢測(cè)精度：

泄漏率精度：±10%（在10^-8 Pa·m3/s以上）
壓力精度：±0.1%（滿(mǎn)量程）

響應(yīng)時(shí)間：小于1秒
傳感器類(lèi)型：高靈敏度氦氣傳感器
數(shù)據(jù)存儲(chǔ)：內(nèi)置大容量存儲(chǔ)器，可存儲(chǔ)數(shù)月的數(shù)據(jù)
數(shù)據(jù)輸出：USB、LAN、RS-232C等多種接口
環(huán)境要求：

溫度：0°C至50°C
濕度：0%至95% RH（無(wú)凝結(jié)）

電源要求：AC 100V-240V，50/60Hz，功率約150W
尺寸與重量：

尺寸：約450mm（寬）×350mm（深）×200mm（高）
重量：約15公斤

四、應(yīng)用領(lǐng)域

半導(dǎo)體制造

真空腔體檢測(cè)：在半導(dǎo)體制造過(guò)程中，檢測(cè)真空腔體的泄漏，確保真空系統(tǒng)的密封性和安全性。
工藝設(shè)備檢測(cè)：檢測(cè)光刻機(jī)、刻蝕機(jī)、薄膜沉積設(shè)備等的真空系統(tǒng)，確保工藝的穩(wěn)定性和可靠性。

真空設(shè)備制造

設(shè)備出廠檢測(cè)：在真空設(shè)備出廠前，進(jìn)行泄漏檢測(cè)，確保設(shè)備的密封性和性能。
設(shè)備維護(hù)：定期檢測(cè)真空設(shè)備的泄漏情況，及時(shí)發(fā)現(xiàn)并修復(fù)泄漏點(diǎn)。

科研機(jī)構(gòu)

實(shí)驗(yàn)設(shè)備檢測(cè)：在科研實(shí)驗(yàn)中，檢測(cè)真空實(shí)驗(yàn)設(shè)備的泄漏，確保實(shí)驗(yàn)結(jié)果的準(zhǔn)確性。
工藝開(kāi)發(fā)：在新工藝開(kāi)發(fā)過(guò)程中，檢測(cè)真空系統(tǒng)的泄漏，優(yōu)化工藝參數(shù)。

五、操作流程

開(kāi)機(jī)準(zhǔn)備

打開(kāi)設(shè)備電源，進(jìn)行開(kāi)機(jī)自檢。
確保設(shè)備處于清潔狀態(tài)，檢查傳感器和檢測(cè)裝置是否正常。

設(shè)備連接

將待檢測(cè)的真空腔體連接到檢漏儀的檢測(cè)接口。
確保連接處密封良好，無(wú)泄漏。

自動(dòng)檢測(cè)

設(shè)備自動(dòng)開(kāi)始檢測(cè)真空腔體的泄漏情況，檢測(cè)結(jié)果實(shí)時(shí)顯示在屏幕上。
檢測(cè)數(shù)據(jù)自動(dòng)記錄并存儲(chǔ)。

數(shù)據(jù)輸出

檢測(cè)完成后，用戶(hù)可以通過(guò)USB接口或網(wǎng)絡(luò)接口將數(shù)據(jù)導(dǎo)出到計(jì)算機(jī)。
使用數(shù)據(jù)分析軟件對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行統(tǒng)計(jì)分析，生成檢測(cè)報(bào)告。

設(shè)備維護(hù)

定期對(duì)設(shè)備進(jìn)行清潔和校準(zhǔn)，確保設(shè)備的長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行。

六、優(yōu)勢(shì)與價(jià)值

高靈敏度：能夠檢測(cè)到極小的泄漏，確保真空系統(tǒng)的密封性和安全性。
高精度：采用先進(jìn)的傳感器技術(shù)和信號(hào)處理算法，確保測(cè)量結(jié)果的高精度和高重復(fù)性。
快速響應(yīng)：快速檢測(cè)和實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)，便于及時(shí)發(fā)現(xiàn)泄漏并采取措施。
用戶(hù)友好：操作簡(jiǎn)便，內(nèi)置自動(dòng)校準(zhǔn)功能，確保測(cè)量精度。
數(shù)據(jù)管理：支持?jǐn)?shù)據(jù)記錄、存儲(chǔ)和輸出，方便用戶(hù)進(jìn)行數(shù)據(jù)分析和質(zhì)量控制。
可靠性：設(shè)備設(shè)計(jì)精良，穩(wěn)定性高，使用壽命長(zhǎng)。

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日本TLV檢漏儀：半導(dǎo)體真空腔體的“安全衛(wèi)士”

一、產(chǎn)品概述

二、主要特點(diǎn)

三、技術(shù)參數(shù)